平行光检查灯光源的选择:
白光:刮伤以及对不同层次的镀膜均匀或微污染有很好的效果。
绿光:微刮伤、粉尘异物、Mura,检查灯,70%以上的表面不良都可以被检出。尤其是表面的微刮伤。
黄光:微刻模具、半导体晶圆、蓝宝石。模拟全波段的卤素光源,对镀膜检查效果不错。
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